碳化矽陶瓷膜的成膜方法

碳化矽陶瓷膜的成膜方法
碳化矽陶瓷膜具有耐高溫、抗熱震、耐腐蝕、高損耗、使用壽命長等優點。是環境污染治理領域的關鍵材料。
如何製備適用於應用製程的高性能碳化矽陶瓷膜已成為目前的研究熱點。
碳化矽陶瓷膜的成膜方法有哪些？包括浸鍍拉法、噴塗法、化學氣相沉積法及相轉化法。