用於切割片懸吊的綠色碳化矽
綠色碳化矽(SiC)是切割盤漿料中的主要磨料,非常適合堅硬和脆性材料進行精密高速切割。
主要優勢
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高硬度和鋒利度
莫氏硬度9.2-9.5,僅低於鑽石和立方氮化硼。晶粒鋒利,自銳性好,適用於碳化物、玻璃、陶瓷、矽片、石英和藍寶石。
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高純度和穩定性
純度≥97%–99%,雜質含量低,不污染工件。耐酸、耐鹼、耐高溫(熔點≈2250℃)。
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優異的導熱性能
80–120 W/m·K,有效去除切割熱,避免變形、崩裂和開裂。

漿料基本配方
- 磨料:綠色碳化矽微粉 F600–F3000 / W20–W1.5
- 載液:
- 油基:聚乙二醇、礦物油
水基型:水+分散劑+潤滑劑
- 添加劑:分散劑、懸浮劑、防銹劑、消泡劑、殺菌劑
- 配比:磨料30-50%,液體50-70%(重量比)
典型應用
- 自由磨料線切割:單晶/多晶矽、碳化矽晶片、藍寶石、石英、砷化鎵、鐵氧體
- 複合切割片:硬質合金、不鏽鋼、陶瓷、石材
遴選指南
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粒徑
粗加工:F280–F600
精密切割:F800–F000
超薄拋光:F2000–F5000
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純度
工業級:SiC ≥97%
半導體等級:SiC ≥99%,金屬雜質 <5–10ppm
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顆粒形狀
球形/近球形:懸浮性好,表面質量高
尖銳的稜角:切割效率高
處理筆記
- 使用分散劑防止沉澱(密度≈3.2 g/cm³)
- 切塊過程中要不斷攪拌,以確保濃度均勻。
- 過濾後重複使用 3-5 次,以降低成本
- 避免吸入粉塵;排放前先對廢水進行處理
概括
綠色碳化矽具有高硬度、高純度、高導熱性和高鋒利度,是精密切割硬脆材料的理想材料。透過合理選擇粒徑、純度和形貌,並配合穩定的切割漿料,可確保高效、高品質且經濟的切割效果。