碳化矽在磨盤上的應用

碳化矽在磨盤上的應用
磨盤。研磨盤是半導體工業中用於超大規模集成電路生產矽片的重要工藝設備。碳化矽陶瓷製成的磨盤由於磨盤的硬度高，矽片的磨損和熱膨脹係數低，可以進行高速研磨和拋光。特別是近年來，矽片的尺寸越來越大，對矽片磨削的質量和效率提出了更高的要求。使用碳化矽陶瓷研磨盤，將大大提高矽片研磨的質量和效率。